(F)PCB
인라인 저온스퍼터 시스템은 전체 공정을 150도 미만 온도에서, 얇은 인쇄회로 기판에 마이크론 두께의 금속 층을 몇몇 개 스퍼터링 하도록 설계 하였습니다
하드웨어 사양
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- 챔버
- 수직또는 수평 방향의 모듈식 설계
- 규모
- 고객 요청에 따름
- 마그네트론 캐소드 개수
- 고객 요청에 따름
- 마그네트론 캐소드 유형
- 단일 평면, 이중 평면, 단일 회전식 및 이중 회전식 사용 가능
- 스퍼터링 모드
- 2저온 반응 및 비반응
- 전처리 소스
- Ion Beam Source 및/또는 RF Plasma Source 사용 가능
- 교통 체계
- 캐리어 반송 라인을 갖춘 캐리어 수단
- 펌핑시스템
- 드라이 펌프를 이용한 터보분자펌프
- (극저온 펌프 또는 극저온 펌프와 분자 펌프의 조합 사용 가능)
- 스템 제어
- 완전 자동 제어
- 고객 요청에 따름
** 자세한 내용은 vtc1@vac-tec.co.kr 로 문의 하십시오.
